场发射扫描电子显微镜

场发射扫描电子显微镜SEM5000

产品介绍

SEM5000是一款分辨率高、功能丰富的场发射扫描电子显微镜。

*镜筒设计，高压隧道技术（SuperTunnel）、低像差无漏磁物镜设计，实现了低电压高分辨率成像，同时磁性样品可适用。光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机交互，优化的操作和使用流程，无论经验是否丰富，都可以快速上手，完

成高分辨率拍摄任务。

电子枪类型      肖特基场发射电子枪

加速电压          20V ~ 30 kV

分辨率             1 nm @ 15 kV, SE    1.5nm @ 1 kV, SE   0.8nm@30KV, STEM

样品台             五轴全自动样品台

放大倍率          1 ~ 2,500,000 x

产品特点

分辨率高，低加速电压下实现高分辨成像

电磁复合物镜，减小像差，显著提高低电压下的分辨率，而且可观察磁性样品

高压隧道技术(SuperTunnel) ，在隧道中的电子能保持高能量，减少了空间电荷效应，低电压分辨率得到保证

电子光路无交叉，有效的降低系统像差，提升分辨能力

水冷恒温物镜，保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性

磁偏转六孔可调光阑，自动切换光阑孔，无需机械调节，实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换

应用领域

规格参数

电子光学系统

分辨率                0.9 nm @ 15 kV, SE

                          1.3 nm @ 1 kV, SE

                           0.8nm@30KV, STEM

放大倍率            1 x ～ 2,500,000 x

加速电压            20V ～ 30 kV

电子枪类型         肖特基场发射电子枪

探测器及拓展

标配                    镜筒内高角度电子探测器

                          侧向二次电子探测器

选配                    插入式背散射电子探测器

                          STEM自动插入式扫描透射探测器
                          样品交换仓
                         高速束闸和电子束曝光
                          EDS能谱仪
                          EBSD背散射衍射
                          EBIC电子束感生电流
                         CL阴极荧光
                          高低温原位拉伸台
                         纳米机械手
                         大图拼接

                         轨迹球 & 旋钮控制板

样品室

真空系统            全自动控制，无油真空系统

摄像头                双摄像头

                           ( 光学导航 + 样品仓内监控 )

样品台配置行程

                           X: 125 mm

                           Y: 125 mm

                           Z: 50mm

                           R: 360°

                           T: -10°～ +90°

软件

语言                    中文

操作系统              Windows

导航                    光学导航、手势快捷导航

自动功能             自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散